激光干涉儀測量/機床/三坐標精度檢測校正服務：對銑床、磨床、車床、鏜床、線切割、CNC數控機床、三坐標測量機、影像測量儀器精度誤差檢測校正補償，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉臺、旋轉軸、直線軸等幾何參量動態測量性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，定位精度檢測、反向間隙補償、絲桿誤差分析。可以補償系統:西門子 發那科 三菱 海得漢 發格 新代 廣數 華中 凱恩帝等。各地都可以上門服務。

激光干涉儀可以完成以下測量：

1、在機械制造領域中，可以用來檢測零部件的尺寸誤差和形狀誤差。

2、幾何參量高精度測量：激光干涉儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精度測量。

3、運動設備導軌的檢測：激光干涉儀可檢測數控機床、三坐標測量機等運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

4、同步測量：激光干涉儀可實現龍門機床雙軸同步測量。

5、回轉軸的測量與校準：激光干涉儀可實現對機床回轉軸的測量與校準。

6、動態測量與分析：激光干涉儀具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

7、誤差補償表生成：激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據。

8、環境補償：激光干涉儀支持手動或自動進行環境補償。

激光干涉儀結合不同的光學鏡組（線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動轉臺），可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的高精度測量。在激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

數控機床在裝配完成后，其定位精度一般是達不到精度要求的，單靠提高零件加工精度，或者提高裝配質量來保證機床精度，將增加制造成本，而使用數控系統的“螺距誤差補償"功能，對數控機床的誤差進行補償，是有效又經濟的方法，激光干涉儀可以進行誤差測量和補償。

激光干涉儀測量/機床/三坐標精度檢測校正服務設備、檢測內容：

激光干涉儀測量、機床、三坐標精度檢測校正服務的設備：

1、各類測量機構、儀器的位移測量精度檢測：彈簧試驗機、三坐標機、投影儀、顯微鏡。
2、各類普通機床精度檢測：車床、銑床、磨床、鏜床、鉆床、線切割、火花機等。
3、各類數控機床的配套使用：數控銑床、加工中心、數控磨、數控龍門銑床、數控鏜銑床、數控車床等。
4、可接pc、plc用于各類自動化設備的位移測量精度測量。

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激光干涉儀測量、機床、三坐標精度檢測校正服務內容：

1. ?幾何參數測量?：激光干涉儀可以實現對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參數的高精度測量?
   。例如，它可以測量機床導軌的平行度和垂直度，這些測量在光學、機械、電子等各種領域都有應用?
   。

2. 運動設備導軌的檢測?：激光干涉儀可以檢測數控機床、三坐標測量機等運動設備導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等?
   。

3. ?動態測量與分析?：激光干涉儀具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可用于振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等?
   。

4. ?誤差補償?：激光干涉儀可以根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據?
   。

5. ?環境補償?：激光干涉儀支持手動或自動進行環境補償，以減少環境變化對測量結果的影響?
   。

6. ?特殊應用?：激光干涉儀還可以用于半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等特殊場合?
   。

● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的測量；

 ● 可檢測數控機床、三坐標測量機等運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

 ● 可實現龍門機床雙軸同步測量；

 ● 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

 ● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

 ● 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

 ● 支持手動或自動進行環境補償。

激光干涉儀精度檢測，球桿儀檢測，可測45米，采用干涉儀實際測量精度每米0.095ppm約0.1微米每米.可進行螺距誤差補償！三坐標測量精度檢測等，可以補償系統:西門子 發那科 三菱 海得漢 發格 新代 廣數 華中 凱恩帝等

雷尼紹激光干涉儀鐳射校正•無線球桿儀•無線回轉軸•三軸五軸數控機床定位精度•重復定位精度檢測補償、反向間隙檢測校正，旋轉軸•直線軸均可測量，可上門服務。

       在線動平衡上門服務（日本西格瑪）

1.進口二三四五軸數控機床。

2.國產二三四五軸數控機床。

3.數控機床類型：加工中心•車床•車銑復合•磨床•中走絲•慢走絲•線切割•火花機•鏡面放電•三次元•三坐標•小黃機•自動化設備•激光切割機•五軸刀具磨•五軸磨床•五軸立臥式車銑鉆磨復合等

4.數控系統類型：法那科•西門子• 法格•三菱•寶元•新代•海德漢•華中•廣數•臺達•萊納克•維宏•北京精雕等。

5.《定位精度+重復定位精度+球桿儀圓度幾何精度+ABC旋轉軸》可上門服務，

激光干涉儀測量/數控機床重復定位精度檢測/校正，設備重復定位精度，旋轉軸/直線軸均可測量，鐳射補償，激光補償，螺距補償，恢復機床精度。上門服務

激光干涉儀檢測，回轉精度檢測，數控機床定位精度檢測 激光干涉儀測量！測量機床定位/重復定位精度，誤差補償！??三軸定位精度檢測 ??反向間隙補償 ??絲桿誤差分析

提供可視化數據報告+校準建議，機床體檢專家上門服務！

激光干涉儀測量/數控機床重復定位精度檢測/校正/補償，設備重復定位精度，旋轉軸/直線軸均可測量，數控機床做絲杠補償，可上門檢測服務。

激光干涉儀測量/各種系統的數控機床重復定位精度檢測/校正，設備重復定位精度，旋轉軸/直線軸均可測量，上門服務。有需要檢測校正的聯系。

機床定位精度補償、機床精度檢測，法那科，西門子，海德漢，法格，華中，三菱機床，螺距補償，各系統五軸，三軸都可以。

自動化設備定位精度補償！球桿儀五軸轉臺檢測，慢走絲、加工中心螺桿檢測，節距補償，機床精度補償，坐標機補償檢測，

激光干涉儀測量，直線軸，搖籃擺頭，轉臺都可測量/數控機床重復定位精度檢測/校正，設備重復定位精度，上門服務。

激光干涉儀測量/數控機床重復定位精度檢測/校正，西門子，發那科，新代，三菱等等系統的，備重復定位精度，旋轉軸/直線軸均可測量，上門服務。帶R值測量 可接維修

激光干涉儀高精度線性定位直線回轉角度鐳射精度測量，數控機床加工中心精度檢測服務

直線度平行度激光檢測平面度垂直度測量，雙頻激光干涉儀 直線度垂直度平行度平面度 激光干涉檢測儀

五軸、回轉臺精度檢測 機床精度檢測，激光干涉儀機床加工中心三坐標落地高精度垂直度水平調節儀

激光干涉儀 激光切割機、大型機床精度校準，數控機床激光干涉儀精度檢測 鏜銑床補償服務，機床校準激光干涉儀高精度測量 線性測量 定位精度，導軌運動精度診斷校準，激光干涉儀 進行數控機床螺距誤差補償，回轉軸的測量與校準。

激光干涉儀測量、機床、三坐標精度檢測校正服務案例：

機床加工中心校正步驟與方法

1. ?誤差檢測與補償技術?

• ?基座加工法?

  ：加工特定試驗工件（如多臺階結構），通過測量實際尺寸與理論值的偏差識別誤差來源，調整機床參數（旋轉軸坐標、刀具補償值等）并反復驗證。

• ?手動RTCP校準?

  ：使用球頭檢棒和百分表檢測旋轉軸（如C軸、A軸）的回轉中心偏差，調整數控系統中的RTCP參數。例如，通過旋轉C軸記錄千分表讀數變化，修正XY平面內的回轉中心坐標。

• ?自動補償系統?

  ：利用接觸測頭與標準球測量13種幾何誤差（如軸芯偏離、垂直度誤差），自動生成補償參數。實測案例顯示，加工面段差可從12μm降至3μm。

2. ?機床結構與工藝優化?

• ?高剛性設計?

  ：優化主軸與工作臺布局（如支撐架高度需大于主軸半徑1.5倍），減少加工變形。

• ?刀具與參數調整?

  ：選用高質量刀具并監控磨損，動態調節進給速度以減少振動。例如，通過振動數據分析調整軸增益系數。

3. ?編程與加工策略?

• ?誤差轉移法?

  ：將機床誤差轉移至夾具或通過互為基準加工抵消誤差。例如，使用浮動連接夾具分散主軸回轉誤差。

• ?分步加工與在線檢測?

  ：粗精加工分離，利用紅外測頭實時修正刀補值。復雜特征（如空間圓弧）采用五軸聯動局部加工并試切優化程序。

4. ?維護與環境控制?

• ?定期校準?

  ：使用激光干涉儀、球桿儀等工具檢測幾何誤差，長期使用后復校參數以防止地面沉降或溫度漂移。

• ?溫控措施?

  ：在恒溫車間運行或配置熱誤差補償系統，減少熱變形影響。

典型案例與注意事項

• ?表面光潔度差?

  ：可能因刀具磨損、共振或爬行現象導致。需更換刀具、調整機床水平并加強潤滑，優化冷卻液與主軸轉速。

• ?工件錐度偏差?

  ：檢查機床水平度、尾座與主軸同心度，優化切削參數避免“讓刀"。

通過綜合應用上述方法，可系統性恢復機床精度，提升加工質量與設備壽命。

激光干涉計是基于光學干涉原理的測量儀器，核心組件包括分束器、反射鏡組、透鏡，

通過分析干涉條紋變化實現納米級位移檢測。

其L型臂腔結構可延伸至4公里長度，激光在真空管道中經反射鏡多次反射形成干涉圖樣，光程差變化可轉化為電信號進行探測 。

該儀器應用于引力波觀測、半導體制造及機床檢測領域。探測器通過4公里長臂實現引力波事件探測，

193納米深紫外激光干涉儀用于晶圓缺陷檢測物鏡評估，雷尼紹XL-80激光干涉儀支持球面光學元件多參數綜合測量。

測量系統分辨率可達0.077納米，采樣頻率10MHz，集成數字化相移技術實現非接觸式面形檢測 [5]。

主要觀測裝置包括LIGO，通過多站點冗余網絡驗證信號真實性

當兩束光重遇后將發生干涉，并形成一個依賴于兩條光路光程差的圖樣。感應器將對這個圖樣進行測量并轉化為電信號。

因為引力波會改變這個干涉圖樣，研究者們將通過檢測圖樣的變化以搜尋引力波。

干涉計的檢測結果，以判別信號是真地來自引力波還是來自于本地的干擾。

激光干涉儀機床平行度直線度線性檢測儀

可自動跟蹤反射鏡的激光干涉儀，類似定位系統（GPS）多點定位的測量原理，僅通過空間距離的測量來獲得空間位置信息。

可實現三坐標測量機或機床空間幾何誤差的亞微米級精度測量分析以及校準補償。

主體：可自動跟蹤靶球，以高精度識別幾何誤差，用于三坐標測量機和機床的校準，監測和精度提升。

靶球：高達160°的工作角度范圍，可以直接檢測機器在工作點的移動情況。

傳感器：測量機器各軸的熱膨脹、環境溫度、氣壓及濕度，并對激光進行補償。

應用：

1.中小型、大型機床：測量校準補償線性軸、旋轉軸所有的幾何誤差，高效提升機床精度；

2.為汽車模具制造商建立機床監控系統；

3.用于飛機各地工廠機床和三坐標測量機的認證；

4.復雜高工件制造：測量校準補償空間誤差，無需在數控加工中心上進行代碼調整。

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行測量，也可以對手表零件等微小運動進行測量，既可以對幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

激光器發出兩個旋轉方向相反的圓偏光f1和f2，其頻差為Δf ，經過 1/4波片后變成兩個振動方向相互垂直的線偏光，再經過準直系統后被分束鏡分為兩部分，其中一部分（約4%）被反射到振動方向45° 放置的檢偏器，按馬呂斯特定律合成新的線偏光，產生多普勒效應的拍頻，其頻率為f2?f1，作為參考信號被光電探測器接收。投射的大部分光束被偏振分光鏡分為兩束， f2被反射到固定的角隅棱鏡后返回，1f透過偏振光鏡射向可動角隅棱鏡并返回。由于可動角隅棱鏡的運動，使反射回來的光束頻率發生變化，變為f1+Δf，這兩束光在偏振分光鏡處再次會合，投射到振動方向45°放置的檢偏器，按馬呂斯特定律合成新的線偏光，也產生多普勒效應頻拍，其頻率f2 ? (f1+Δf)，作為測量信號被另一個光電探測器接收。以上兩支信號分別經過交流放大器后被送入混頻器，解調出被測信號Δf ，用可逆計數器對±Δf 信號累計干涉條紋的變化數N可以計算出可動角隅棱鏡的位移量。

激光干涉儀可以更加快速、高精度地測量機床的定位和軸向數據，迅速完成整機的性能評估，停機時間可減少80%。

激光干涉儀軟件系統可對激光干涉儀采集的數據進行實時分析處理并生成測量報告。

快速測量

激光干涉儀可以更加快速、高精度測量機床的定位和軸向數據，迅速完成整機的性能評估，停機時間可減少80%。

6自由度測量

激光干涉儀，一次安裝即可測得包括x、y、z、俯仰角、偏擺角、滾動角在內的6個參數，大幅提升測量效率。

適用于多種參數的測量

激光干涉儀可測量多種機床參數，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度誤差等等。

緊湊式設計

激光干涉儀采用高集成緊湊式設計，各部件以合理的位置集成于主機之內，使得整機小巧靈活，可輕松安裝在機床導軌或工作平臺上。

強大的軟件功能

激光干涉儀軟件具有直觀易懂、易于操作、功能豐富等特點，可快速生成數據分析報告。

服務&支持

技術團隊隨時為您提供技術支持。

激光干涉儀，一次安裝可測6個參數（包括x、y、z、俯仰角、偏擺角、滾動角），大幅減少停機時間，為企業提高生產效率。其主要應用領域包含但不限于：

• 旋轉誤差測量

• 幾何誤差測量

• 角度誤差測量

• 平面度誤差測量

• 垂直度誤差測量

• 平行度誤差測量

為您提供各式車床、銑床、鉆床、磨床、刨床、數控加工中心和三坐標測量機等的校準服務，使您的機床時刻處于好的工作狀態。而對于大型多軸機床，利用空間誤差補償技術，使用集成了干涉激光的激光跟蹤儀不間斷地跟蹤測量機床主軸的運動，并在運動空間內可快速對多于400個位置進行21項誤差參數的補償，讓機床的精度大幅提升。